外延法 -

外延

外延外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层（如图1 所示。新淀积的这层称为外延层。外延为器件设计者在优化器件性能方面提供了很大的灵活性，例如可以控制外延层掺杂厚度、浓度、轮廊，而这些因素是与硅片衬...