分辨率尺寸对照表 -

分辨率

分辨率掩模版上相邻两点在晶圆表面可以清晰成像的对应的最小距离称为分辨率。基本介绍集成电路生产中使用的投影式光刻机的曝光系统可以等效地用所谓的科勒(Koehler 光学模型来描述，如图1所示。光源位于...